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Si-based sensor
释义
Si-based sensor
基本
例句
硅基传感器
The characteristics and requests of micromachining for silicon based sensors are introduced.The conventional methods of si substrate microfabrication are briefly described.
叙述了硅基传感器微机械加工的特点和要求,简要说明了硅衬底微细加工的常用方法。
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更新时间:2026/10/13 7:23:13